准确度　　观测值和可接受的基准值之间同意的接近程度。
　　方差分析　　一咱经常用于试验设计（DOE）中的统计方法（ANOVA），用于分析多组的计量型数据以便比较方法和分析变差源。
　　可视分辨率　　测量仪器最小增量的大小叫可视分辨率。该数值通常以文字形式（如广告中）来划分测量仪器的分级。数据的分级数可通过把该增量的大小划分类预期的过程分布范围（6σ）来确定。
　　注：显示或报告的位数不一定总表示仪器的分辨率。例如，零件的测量值为29.075、29.080、29.095等，记录为5位数。然而该仪器的分辨率为0.005而不是0.001。
　　评价人变差　　在一个稳定环境中应用相同的测量仪器和方法，不同评价人（操作者）对相同零件（被测体）的测量平均值之间的变差。评价人变差（AV）是一咱由于操作者使用相同测量系统的技巧和技能产生的差别造成的变通原因测量系统变差（误差）源。评价人变差通常被假定为与测量系统有关的“再现性误差”，但这并不总是正确的（见再现性）。
　　偏倚　　测量的观测平均值（在可重复条件下的一组试验）和基准值之间的差值。传统上称变准确度。偏倚是在测量系统操作范围内对一个点的评估和表达。
　　校准　　在规定条件下，建立测量装置和已知基准值和不确定度的可溯源标准之间的关系的一组操作。校准可能也包括通过调整被比较的测量装置的准确度差异而进行的探测、相关性、报告或消除的步骤。
　　校准周期　　两次校准间的规定时间总量或一组条件，在此期间，测量装置的校准参数被认定为有效的。
　　能力　　以测量系统短期评定为基础的一种测量误差的合成变差（随机的和系统的）的估计。